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FlatMaster MSP300平面度仪平坦度仪

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FlatMaster MSP300平面度仪平坦度仪
美国康宁Flatmaster MSP300平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。FLATMASTER 300平面度测量仪可以实现自动、快速、准确、稳定的测量,超过20年的工业应用,全球几百台的装机量。

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美国康宁Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等,为精密部件的制造商提供了业界*先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的 数据。Flatmaster MSP-300平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。FLATMASTER 300平面度测量仪可以实现自动、快速、准确、稳定的测量,超过20年的工业应用,全球几百台的装机量。

        美国FlatMaster MSP-300平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160  多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识,  美国康宁CORNING平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科 学领域产品的关键组成部分。

测量300毫米玻璃和硅晶片的平面度,厚度和厚度变化的能力对于成功集成3DIC组件非常重要。 传统的接触式探头或传统的干涉测量系统太慢,或者对于较大的视野而言没有必要的精度

 

Tropel®FlatMaster®MSP-300(平面度测量仪)是一种****,可为300毫米玻璃和硅晶片提供快速,准确的测量 在几秒钟内,以亚微米的精度收集了超过300万个数据点,从而能够表征整个表面的总厚度和平坦度

测量多种不同指标:
▶厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 压力/翘曲度
/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓。
完整的分析系统:
▶三维/ 拓扑/合格率/分布/二维环形和半径
切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度;
▶实现自动、 快速、准确、稳定且灵活的测量

 

技术参数
    ▪    重复性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma) 
    ▪    分辨率:5nm (0.2μ″) 
    ▪    可测量工件尺寸:5mm-300mm
    ▪    动态测量范围:>100um 
    ▪    测量数据点:230,000 
    ▪    测量时间:5秒 
    ▪    电源:~220V 50Hz

器型号

FlatMaster MSP40

FlatMaster MSP150

FlatMaster MSP300

测量原理

入射式扫描干涉

尺寸

~φ40mm

~φ150mm

~φ300mm

*大测量高度

40mm

60mm

300mm

测量波长

830nm  AlGaAs半导体激光器

测量数据数

*大约78万点

*大约400万点

测量分辨率

0.01μm

测量精度(Accuracy)

平面度

0.060μm

平行度

0.100μm

深度

0.250μm

重复精度(Repeatability)

平面度

0.02μm

平行度

0.025μm

深度0.100μm

测量时间

从样品设置到分析约60秒

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