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ZYGO ZEGAGE光学轮廓仪

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ZYGO ZEGAGE光学轮廓仪
ZeGage™光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速,准确的测量方案,并且外形紧凑、性价比高,能够放在生产车间工作

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ZYGO ZEGAGE光学轮廓仪

ZeGage™光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速,准确的测量方案,并且外形紧凑、性价比高,能够放在生产车间工作,而不需要振动隔离和特殊的隔离装置。同时交互式的控制软件MxTM提供了简单而精细的图形图像来帮助你的加工处理。如需获取更多的信息,了解Zegage系统的能力、功能和价值请继续往下看。

关键特点

      • 抗震性能,适合于生产车间的计量检测和过程控制。
      • 所有参数遵照ISO 25178国际标准,保证计量结果的可性度。
      • 非接触式计量技术不会引起任何待测件的损伤。
      • 计算机控制的4位物镜转台。
      • 基于区域的测量,对待测件如何放置不敏感。
      • 测量无需任何耗材。

 

生产车间里,正在使用的ZeGage光学轮廓仪

生产车间里,正在使用的ZeGage光学轮廓仪

系统参数:

原理 非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置: 长范围 Z 轴调节

物镜: 无限共轭干涉物镜:标准工作距离2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;长工作距离:1x, 2x, 5x, 10x,详见物镜参数表

视场: 跟所选物镜有关

光源: 长寿命白光 LED,计算机控制光强

物镜座: 螺纹物镜座(标准);

选件: 可快速装卸单物镜夹具(可选);电控或手动 4 位物镜塔台(可选)。

辅助聚焦: 软件控制辅助聚焦

测量阵列: 1024×1024

样件观察: 软件集成交互式实时观察

Z 轴: 100mm 行程,主机头具有两种可选安装高度,以优化工作距离

样品台控制: USB 控制器,人体工程学设计的拇指控制按钮,可控制速度和聚焦模式切换

安全性: 系统集成紧急制动功能

样品台: 手动,俯仰倾斜±4°; 手动XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

计算机: 高性能DELL计算机, 宽屏1080P LCD,64位,Windows 7系统

软件: ZeMapsTM

尺寸(HWD): 系统:156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主机:82x53x53cm

重量: ZeGage 主机:54Kg; 工作台:37Kg

性能:

纵向扫描范围:≤ 20 mm,(受限于物镜工作距离)

表面形貌重复性:<3nm(根据 ISO/DIS 25178 604 部,附件 D)

光学分辨率(横向):0.52um ~9.50um,与所选物镜有关

扫描速度: ≤ 23 um/秒

最大数据点: 1,048,576

台阶测量: 准确度 ≤ 1%; 重复性≤ 0.1% @ 1σ

被测样品特性:

材料: 各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射

反射率:1-100%

环境要求:

温度: 15-30℃

温度变化率: <1.0°C/15分钟

湿度: 相对湿度 5%-95%,无凝结

隔振: 不需要

振动准则: VC-C 或有更好的推荐

 

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