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康宁平整度分析仪tropel

  • 更新时间:2021-05-13
  • 浏览次数:402

康宁平整度分析仪tropel
UltraSort是一种自动晶圆平整度分析系统,包括具有用户可配置分选功能的盒式磁带晶圆处理。 符合100级无尘室标准的系统将掠入射干涉仪与行业标准的机械手集成在一起。 UltraSort可以配置为测量直径2英寸至8英寸的晶圆尺寸,非常适用于多种不同的材料,包括砷化镓,蓝宝石,石英,锗,硅等。

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品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,电子,印刷包装,航天,汽车

康宁平整度分析仪tropel

Tropel UltraSort延续了我们25年的传统,为半导体晶圆制造商提供计量解决方案。 专为批量生产的晶片而设计,该自动化系统在快速,可重复,准确,非接触式硅晶片和替代基板晶片的鉴定中提供了**的性能。UltraSort是一种自动晶圆平整度分析系统,包括具有用户可配置分选功能的盒式磁带晶圆处理。 符合100级无尘室标准的系统将掠入射干涉仪与行业标准的机械手集成在一起。 UltraSort可以配置为测量直径2英寸至8英寸的晶圆尺寸,非常适用于多种不同的材料,包括砷化镓,蓝宝石,石英,锗,硅等。

Tropel UltraSort™自动晶圆分析系统提供了掠入射干涉法的功能,使TropelFlatMaster系统成为精密平面度测量的行业标准。

Tropel UltraSort晶圆平整度分析系统

—— 专为批量生产的晶片而设计,旨在快速,可重复,准确,非接触式,自动测量。

康宁Tropel UltraSort代表了自动化半导体晶圆测量的*新技术,并延续了25年为半导体制造商提供计量解决方案的传统。 该自动化系统专为大批量晶圆制造而设计,可为现场的许多基板材料提供快速,可重复,准确的非接触式验证。

技术规格(请以产品样册为准)

 

测量方式掠入射干涉法
性能
精度50nm(2.0μinches)
重复性15nm(0.6μinches)(1 sigma)
分辨率5nm(0.2μinches)
动态范围'> 100μm
零件范围50mm-200mm
零件范围配置50mm-150mm; 100mm-200mm
测得的数据点每次测量≥230,000
测量时间5秒
吞吐时间夹紧测量:每小时120个晶圆
测量参数Bow, Warp, SORI, TTV, LTV, LDOF, thickness, stress等
数据分析3-D,轮廓,切片:X,y圆周和径向,直方图和晶圆分析图
材料和表面
材料80硅,碳化硅,砷化镓,氮化镓,磷化镓,磷化铟,蓝宝石,锗,铌酸锂等
表面线锯,研磨,研磨,抛光,蚀刻
数据管理
数据存储80 Gb硬盘驱动器
通讯技术10 / 100-BaseT以太网,RS -232C端口
操作系统Windows“ XP
重量和尺寸
干涉仪外壳142cmX110cmX173cm,1750kg(56inX43inX68in,3850Ib)

 

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