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CorningTropel UltraFlat 200掩模系统

  • 更新时间:2020-12-02
  • 浏览次数:306

CorningTropel UltraFlat 200掩模系统
UltraFlat系统用于在整 个制造过程的每个阶段测量光敏坯和光掩模的平坦度,包括抛光,涂覆,构图,薄膜安装和分析薄膜应力效果。UltraFlat系统利用近法线入射干涉仪,坚如磐石的结构设计,先进的光学器件和康宁Tropel著名的相移分析软件。

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品牌其他品牌产地类别进口
应用领域汽车

CorningTropel UltraFlat 200掩模系统

 

欢迎来到笃挚仪器(上海)有限公司, 具体地址是上海市浦东新区外高桥保税区华京路418号。是,手机是,主要经营仪器仪表,超声波探伤仪,磁粉探伤仪,超声波测厚仪,涂层测厚仪,表面粗糙度仪,里氏硬度计。我们公司主要供应仪器仪表 量具/量仪 粗糙度仪 等产品,我们的产品货真价实,性能可靠,欢迎咨询!

康宁Tropel公司制造的Tropel UltraFlat 200掩模系统是专门为光掩模行业设计的。它的低测量不确定性使UltraFlat System成为当今日益严格的掩模平坦度规格的理想工具。推动更小的设备功能要求光掩模必须非常平坦。UltraFlat系统用于在整 个制造过程的每个阶段测量光敏坯和光掩模的平坦度,包括抛光,涂覆,构图,薄膜安装和分析薄膜应力效果。UltraFlat系统利用近法线入射干涉仪,坚如磐石的结构设计,先进的光学器件和康宁Tropel著名的相移分析软件。提供高达6 nm的测量不确定度。该系统可追溯至NIST,并提供符合SEMI标准的测量值。还提供自动光掩模处理和测量配置以及洁净室选项。

Tropel UltraFlat 200掩模系统可为光掩模提供非常难得的平坦度测量。提供手动处理,全自动机械手处理和1级无尘室环境选项。

 

Tropel®UltraFlat™200掩模系统规格

性能
不确定度6nm
动态范围10μm
掩模尺寸6英寸( 6025、5009和其他尺寸请求)
测量数据点≤1000000 /测量
测量时间≤30s
标准测量前面引用的平面度,局部斜率,应力,微波纹度, x-y polyfit
数据分析三维,轮廓,等距,直方图和站点图,站点分析
数据管理
数据储存80gb硬盘
通讯系统10 / 100-BaseT以太网
操作系统Windows XP
尺寸大小
干涉仪外壳和底座89 cmx 117 cmx 132 cm (35 inx 46inx 52 in)
计算机工作站66 cmx 66 cmx 168 cm (26inx 26 inx 66 in)
重量
干涉仪外壳和底座400 kg (880 Ib)
计算机工作站34 kg (75 Ib)

 

 

 

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