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ZYGO新一代激光干涉仪

  • 型   号:VeriFire干涉仪
  • 价   格:

ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire™激光干涉仪
继承了工业标准GPI™激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、创造性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等,是ZYGO技术的集中体现。 所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用。

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ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire™激光干涉仪,继承了工业标准GPI™激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、创造性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等,是ZYGO技术的集中体现。 所有VeriFire™系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用。Verif ire"系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYG0在面形计量行业*与伦比的经验。共光路的设计结合ZYG0**的采集算法,和功能强大的批软件实现了高精度的表面计量与先进的分析能力。

关键性能:

▪    斐索型共光路系统保证精密测量
▪    友好的图形用户界面,易于生产线上操作
▪    创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量
▪    利用先进的过程控制技术,快速提取测试中不变的信息
▪    每一帧数据都将振动信息冻结

所有 Verifire™ 系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用,列于下表:

型號:XPZQPZATZMSTAsphere
核心技術:相位移式干涉儀 (PSI)傅立葉轉換相位移
式干涉儀
**非球面演算
法相位移式干涉仪
光源:點光源點光源和 Ring of Fire™環形光源(波紋抑制)
變焦:自動 1-6X數位控制 1-5X
聚焦:自動數控步進焦距控制
解析度:640 × 480 圖元1k × 1k 圖元
幀速:75 Hz100 Hz43 Hz
球面曲率半径的测量

 

集成大量常用测量程序模块

▪    多个样品的同时分析
▪    球面曲率半径的测量
▪    角锥和棱镜测量
▪    双球面和三平板的测量
▪    相对角度和楔板楔角的测量
▪    材料均匀性的测量
▪    傅立叶变换移相干涉测量(MST型)
▪    动态设备如MEMS的测量
▪    薄膜上下层形貌和厚度的测量
▪    金属零件的测量

 

 

 

简单的定制过程,用户可调

▪    设定数控采集和数据处理过程中的各种参数
▪    选择需要显示的图像曲线和数据结果
▪    几百种符合工业标准的数据可供选择
▪    自定义屏幕上各种窗口的编排
▪    保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果
▪    适用于工业化生产的软件
▪    质量控制--自动显示”合格/不合格”
▪    编程功能--仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息
▪    根据用户定义的计算公式,产生相应的结果
▪    实时屏现SPC
▪    自动数据保存和统计
▪    应用程序”锁定“功能

 

选择需要显示的图像曲线和数据结果

 

强大的数据分析功能

▪    数据滤波和剪辑
▪    像差计算
▪    PSF和MTF图
▪    斜率图/功率谱密度/环绕能
▪    ASCII和"XYZ"数据格式
▪    Zernike分析
▪    数据和图像加减、缩放、旋转和转换
▪    ZEMAX、CodeV和0SL0数据格式

 

 

系统

测量功能精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
测量技术QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式(PSI)
校准系统快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
测量光束直径4″(102mm)或6″(152mm)
对准视场范围FOV4″:±3°;6″:±2°;
光学中心线4.25″(108mm)
激光光源大功率稳频氦-氖激光,IIIa级
波长633 nm
频率稳定度< 0.0001 nm
相干长度>100m
成像分辨率1024 x 1024像素
帧速100Hz(PSI)
数据采集时间130-300ms
数据模式8位
放大电控1-5X
偏振接近圆偏振(1.2:1或者更好)
光曈调焦范围4″:±2.5m;6″:±5.5m;
计算机和软件高性能DELL PC,Windows7,64位,ZYGO**软件 MetroproTM 9和MetroproTM X(2)
安装构造水平卧式或垂直立式
附件详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件,OMP-0463
尺寸(长x宽x高)4″:69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.);6″:92 x 31 x 34cm (36.4 x 12.1 x 13.4 in.)
重量4″:≤85lb(38Kg);6″:≤100lb(45Kg)
电源100-240VAC,50/60Hz

工作环境:

温度15°C - 30°C (59°F - 86°F)
温度变化率<1.0°C/15min
湿度相对湿度5% - 95% , 无凝结
隔振QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量;机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。

性能参数:

RMS重复性(3)< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
RMS波前重复性(4)< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
像素峰值偏差(5)< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

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