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康宁平面度仪Tropel FlatMaster 100

康宁平面度仪Tropel FlatMaster 100
美国康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界**的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-04-14
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 康宁平面度仪Tropel FlatMaster 100

平面度仪测量多种不同指标:  
▶厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓;完整的分析系统:
▶三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

康宁Corning Tropel FlatMaster平面度仪应用领域:
▶实现单个或多个平面的光学非接触一次性测量;
▶适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料;
▶适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/**化镓/石英/锗/铌酸锂;
▶适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面;

美国康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界**的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。康宁Corning Tropel Flat Master平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。可以实现自动、快速、准确、稳定的测量,超过20年的工业应用,几百台的装机量。Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。

平面度仪可测量技术参数:

精度50nm (2.0μ″)
重复性15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率5nm (0.2μ″)
可测量工件尺寸5mm-100mm
动态测量范围>100um
测量数据点230,000 
测量时间5秒 
电源~220V 50Hz 

 

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