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爱佩仪XDLaser 5D/6D激光干涉仪

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爱佩仪XDLaser 5D/6D激光干涉仪
D/6D激光干涉仪是API的产品,一次安装能够同时测量线性轴的六个误差,包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试,使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成,实际应用结果表明,节省时间可达80%。

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爱佩仪XDLaser 5D/6D激光干涉仪

激光干涉仪概述:

5D/6D激光干涉仪是API的产品,一次安装能够同时测量线性轴的六个误差,包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试,使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成,实际应用结果表明,节省时间可达80%。该仪器体积小,重量轻,可以直接安装到机床导轨上。6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉仪和6维传感器组成,从激光器发出的激光光束经过干涉后,被6D 传感器内的分光镜分成三束,一束光经锥角反射棱镜反向后返回干涉仪与参考光束相干产生干涉条纹,经光学相位探测器识别后进行电子记数,记录长度位移。 第二束光用作直线度测量的参考光束,传感器与参考光束之间的相对位移由装在传感器内的横向疚光电二级管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角 仪的参考光源,用来测量角度误差(俯仰角和偏摆角)。

为 了保证激光光束的稳定性,测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑,以使测量仪的横向和角度漂移量都降低到*小,从而保证测量仪的长 期稳定性。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器,自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响,测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器,使由空气波动及温 度梯度引起的测量误差降到z小。

干涉仪类别
1D激光主要可以测量定位误差
3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角

主要特点

1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
3. 可选的无线遥控传感器z长的控制距离可到25米
4. 可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性
5. 全套系统重量仅15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架
6. 集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间 

技术参数(XD Laser 为无线产品,可选三种不同的准确性等级)

5D/6D标准型:
1. 线性:0.5ppm
2. 测量范围:40米(1D可选80米)
3. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
4. z大范围:800角秒
5. 滚动角精度:1.0角秒
6. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
7. z大范围:500um
8. 垂直度精度:1角秒
9. 温度:0.2摄氏度
10.湿度:5%
11.压力:1mmHg

 

5D/6D高精密型: 
1. 线性:0.2ppm
2. 测量范围:根据用户要求而定
3. 偏摆角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
4.z大范围:500角秒
5. 滚动角精度:0.5角秒
6. 直线度精度:(0.2+0.05/m)um
7. z大范围:100um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 温度:0.1摄氏度
10.湿度:3%
11.压力:0.3mmHg

5D/6D精密型:
1. 线性:0.2ppm
2. 测量范围:25米
3. 偏摆角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%显示较大值
4. z大范围:400角秒
5. 滚动角精度:0.5角秒
6. 直线度精度:(0.5+0.1/m)um或1%显示较大值
7. z大范围:300um
8. 垂直度精度:0.5角秒
9. 温度:0.1摄氏度
10.湿度:3%
11.压力:0.3mmHg

 

 

 

 

笃挚仪器(上海)有限公司主营检测仪器设备有:
    ==>>德国菲希尔 Helmut FISCHER X射线镀层测厚仪、便携式涂镀层测厚仪;
    ==>>英国泰勒-霍普森TaylorHobson粗糙度仪、轮廓仪、圆度仪、圆柱仪、光学三维形貌测量仪;
    ==>>德国马尔mahr表面粗糙度仪、高度测量仪、千分尺、卡尺;
    ==>>德国EPK(Elektrophysik)手持式涂覆层测厚仪;
    ==>>德国艾达米克霍梅尔HOMMEL 便携式粗糙度仪;
    ==>>美国API  XD系列激光干涉仪;
    ==>>美国GE无损检测超声波探伤仪、超声波测厚仪;
    ==>>日本三丰Mitutoyo量具、粗糙度仪、测高仪、千分尺、卡尺;
    ==>>英国雷尼绍Renishaw三坐标测量机测头测针、机床测头、位置编码器、光栅、激光尺;
    ==>>德国Fraunhofer-IZFP无损检测技术研究所 淬火层厚度无损测量系统;
    ==>>美国FLIR热成像系统、夜视系统、红外热像仪、红外探测器;
    ==>>美国奥林巴斯Olympus超声波测厚仪、超声波探伤仪、涡流探伤仪、XRF金属分析仪;
    ==>>TRIMOS测长仪、测高仪、万能测长机;
    ==>>杭州思看科技三维扫描仪.

 

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