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雷尼绍配有RELM的TONiC直线光栅

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雷尼绍配有RELM的TONiC直线光栅
TONiC UHV是雷尼绍向超高真空应用领域推出的超小型非接触式光栅系统,可为客户提供更强的运动控制性能。

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雷尼绍配有RELM的TONiC直线光栅

 

笃挚仪器(上海)有限公司是英国雷尼绍,德国菲希尔Fischer测厚仪,德国Elektrophysik(EPK)公司测厚仪,英国易高测厚仪,英国泰勒Taylor Hobson粗糙度仪、轮廓仪、圆度仪、圆柱度仪等的代理商,咨询查看更多规格和配置的更详细介绍。笃挚公司将以优质产品、优势价格、优秀服务,为您提供性价比的解决方案。

特性

  • 读数头尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
  • 分辨率达1 nm
  • 速度达10 m/s
  • 模拟或数字输出
  • 超低电子细分误差 (SDE):通常<±30 nm
  • 光学IN-TRAC™参考零位

优点

  • 超高真空 (UHV)
  • 精度极高且热膨胀接近零
  • 超小型光栅具有动态信号调节功能,可提高运动控制性能
  • 诊断组件用以协助完成复杂安装并进行系统优化

什么是TONiC UHV?

TONiC UHV是雷尼绍向超高真空应用领域推出的超小型非接触式光栅系统,可为客户提供更强的运动控制性能。
TONiC的速度高达10 m/s,与Ti接口结合使用,其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差超低,通常小于±30 nm,从而有助于实现卓越的运动控制性能。

什么是RELM栅尺?

RELM是用ZeroMet™(一种低膨胀镍/铁合金)制造的直线硬栅尺,栅距为20 µm。
它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美,在1.5 m长度内的总体精度(包括斜率误差和线性误差)优于±1 µm。ZeroMet在0 °C至30 °C的温度范围内热膨胀系数约为0.6 µm/m/°C。
系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。

尺寸小,但可靠性和性能极佳:

TONiC读数头采用第三代光学滤波系统,噪声(抖动)更低,包括自动增益控制和自动偏置控制在内的动态信号处理使其功能更强大,因此具有极佳的可靠性和稳定性能。这种组合全部集成到读数头内部,可提供无与伦比的信号纯度和超低的电子细分误差(仅有±30 nm)。结果具有更为平稳的速度控制,并且扫描性能和位置稳定性都获得提高,从而有助于最大限度减少真空条件下电机中积聚的热量;真空应用的所有关键参数均存储在紧凑型读数头中。

接口选项

TD(双分辨率)接口

  • 可选双分辨率正交输出。
  • 是要求高速运动以及高精度移动的应用的理想选择。

技术规格

测量标准

RELM:带有中间参考零位的高精度ZeroMet直线硬栅尺

还提供带有端部参考零位的栅尺,如RELE

读数头尺寸 (LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

栅距

20 µm

20 °C时的热膨胀系数

0.75 ±0.35 μm/m/°C

20 °C时的精度等级

认证精度达到 ±1 µm,校准可朔源到国际标准

参考零位

IN-TRAC 参考零位

有关各种参考零位位置选项,详见规格手册

限位开关

单限位或双限位(订货时选择)

栅尺长度

20 mm至1,500 mm

最高速度

模拟

数字

(详见规格手册)

-3 dB时可达10 m/s

最高可达10 m/s

电子细分误差 (SDE)

一般 <±30 nm

动态信号控制

实时信号调节,包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC),可在操作期间实现性能优化

增量信号

模拟

数字

 

 

1 Vpp(周期为20 µm)

分辨率从5 µm至1 nm

电气连接

电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插头(直接连接至TONiC接口)

电源

5 V ±10%,<100 mA(模拟系统),<200 mA(数字系统)(无端接)

读数头功耗< 100 mA

振动(工作)

55 Hz至2000 Hz时100 m/s2(最大值)

冲击(非工作)

1000 m/s2,6 ms,½正弦

工作温度(系统)

0 °C至+70 °C

烘焙温度(非工作)

120 °C(仅限读数头和栅尺)

防护等级

读数头:IP20

接口:IP20

电缆构造

镀锡编织铜线电缆,单层屏蔽,带FEP绝缘

请参阅规格手册,了解详细信息。

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