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产品中心
	
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 | 
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,汽车及零部件 | 
Tropel FlatMaster MSP40
平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等,为精密部件的制造商提供了业界**的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的 数据。flatmaster 40平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行精密测量。 美国flat master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 美国康宁corning平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科 学领域产品的关键组成部分。
康宁推出了Tropel®FlatMaster®MSP(多表面轮廓)光学计量系统; 非接触式频率扫描干涉仪,能够测量具有多个表面的精密零件。只需几秒钟即可测量各种材料和表面光洁度的平面度,平行度和高度/深度,并且亚微米精度。

主要优势:
▶提高产品质量,制造良好率和生产率
▶降低制造成本
▶增进对过程的了解
▶缩短上市时间
▶提高客户满意度
技术特点:
▪    无接触和无损伤测量 
▪    适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料 
▪    适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂 
▪    适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,超光滑面
可测量多种不同指标:
▪    厚度/ttv/sori/ltv/ldof/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓 
▪    完整的平面度测量和分析系统: 
▪    三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度 
▪    可以实现自动、快速、准确、稳定的测量 
▪    超过15年的工业应用,**几百台的装机量
部分技术参数:
▪    精度:50nm (2.0μ′) 
▪    重复性:15 nm(0.6μ′)(1 sigma) 
▪    分辨率:5nm (0.2μ′) 
▪    可测量工件尺寸:5mm-40mm(更小工件也可提供) 
▪    动态测量范围:>50um 
▪    测量数据点:230,000 / measurement 
▪    测量时间:5秒 
▪    电源:~220v 50hz
Tropel FlatMaster MSP40技术参数:
| 仪器型号 | FlatMaster MSP40  | FlatMaster MSP150  | FlatMaster MSP300  | |
|---|---|---|---|---|
| 测量原理 | 入射式扫描干涉  | |||
尺寸  | ~φ40mm  | ~φ150mm  | ~φ300mm  | |
*大测量高度  | 40mm  | 60mm  | 300mm  | |
测量波长  | 830nm AlGaAs半导体激光器  | |||
测量数据数  | *大约78万点  | *大约400万点  | ||
测量分辨率  | 0.01μm  | |||
测量精度(Accuracy)  | 平面度 | 0.060μm  | ||
| 平行度 | 0.100μm  | |||
深度  | 0.250μm  | |||
重复精度(Repeatability)  | 平面度 | 0.02μm  | ||
| 平行度 | 0.025μm  | |||
| 深度 | 0.100μm | |||
测量时间  | 从样品设置到分析约60秒  | |||
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