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技术支持

日本三丰Surftest表面粗糙度测量仪小知识

更新时间:2020-05-11   点击次数:2563次

JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997) 产品几何技术规范(GPS)-表面形状:轮廓法–术语、定义及表面纹理参数
JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 产品几何技术规范(GPS)-表面形状:轮廓法–位相补偿滤波器的特征
JIS B 0633:2001 (ISO 4288:1996) 产品几何技术规范(GPS)-表面形状:轮廓法–表面纹理的评价的规则和程序
JIS B 0651:2001 (ISO 3274:1996) 产品几何技术规范(GPS)-表面形状:轮廓法–接触(测针式)测量仪的标称特性。

接触式表面粗糙度测量仪的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)

三丰粗糙度仪测量原理示意图:

测针形状
理想的测针形状是圆锥型,为球形
半径:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
圆锥角度:60º, 90º
在理想表面粗糙度测量中,除特别规定以外,每个圆
锥角的角度都是 60º

静态测量力
测针平均位置的测力:0.75mN
测力的标称变化率:0N/m
标准特性值:测针平均值的静态测力

测针曲率
标称半径μm
测针在平均位置
的静态测量力
mN
静态测量力变化的
公差率
mN /μm
20.750.035
50.75 (4.0)注10.2
10

注1 对于特殊结构探测器 (包括一个可更换测头),在平均位置静态测量力的大值为 4.0mN。

截止波长值与测针半径之间的关系
如下表所列,测针半径rtip 的标准值与对应于截止波长
标准值的粗糙度截止波长比率之间的关系

λc
(mm)
λs
(μm)
λc/λs大rtip
(μm)
大取样间隔
(μm)
0.082.53020.5
0.252.510020.5
0.82.53002注10.5
2.583005注21.5
82530010注25

注1: 对于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通常可以使用rtip=5μm的测针,
在测量结果中没有明显差别。
注2: 当截止波长λs为2.5μm或8μm时,与推荐测针针尖半径的测针(触针)机械滤波所产生的衰减特性将位于定义的传输带之外。因此,测针的半径或者形状上的微小误差不会影响到测量中参数的计算。如果需要特殊的截止波长比率,须。

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