测量范围:0 - 2000μm。
测量误差:铁基,0 - 75μm 为 ±1.5μm,75 - 1000μm 为 ±2%,1000 - 2000μm 为≤3%;非铁基,0 - 50μm 为 ±1μm,50 - 1000μm 为 ±2%,1000 - 2000μm 为≤3%。
重复精度:铁基,0 - 50μm 为≤0.25μm,50 - 2000μm 为≤0.5%;非铁基,0 - 100μm 为≤0.5μm,100 - 2000μm 为≤0.5%。
最小测量面:标准测量面为 Φ4mm,允许误差<10% 时,最小测量面可达 Φ2mm。
最小曲率:精度范围内,铁基最小曲率达 Φ35mm,非铁基为 Φ50mm;允许误差<10% 时,铁基和非铁基最小曲率分别优化至 Φ10mm 与 Φ2mm。
最薄基体:铁基为 0.2mm(f),非铁基为 90μm(n)。
工作温度:操作温度为 5 - 40°C,储存温度为 5 - 60°C。