美国API激光干涉仪XD Laser信息

XD Laser的核心优势在于其强大的多自由度同步测量能力，突破了传统干涉仪单次仅能测量单一参数的技术瓶颈。在1D/3D/5D/6D多种配置中，旗舰级6D型号尤为突出——仅需一次安装，即可同步完成六项关键几何误差参数的检测，包括线性定位误差、X/Y双方向直线度，以及俯仰角、偏摆角和滚动角。这一创新将传统动辄数天的检测流程大幅压缩至数小时，效率提升高达5倍，时间节省超过80%。一体化测量设计有效避免了反复装调引入的累积误差，显著提升了数据的一致性与稳定性。

在精度方面，XD Laser：标准型线性测量精度达0.5 ppm，精密型更可实现0.2 ppm的超高精度；角度测量分辨率低至0.01角秒。