泰勒霍普森PGI轮廓仪信息

泰勒霍普森PGI轮廓仪采用相位光栅干涉测量技术（PGI），结合高稳定性机械结构与精密光学系统，实现非接触或接触式表面形貌的纳米级测量。其垂直分辨率达0.1纳米，水平分辨率优于0.1微米，专为超光滑表面（如光学镜片、半导体晶圆）设计，同时满足粗糙度（Ra、Rz等）与宏观轮廓（曲率半径、倾角、台阶高度）的测量需求。

PGI系列的核心优势在于多功能一体化平台，支持表面粗糙度参数（ISO 4287/21920标准）、轮廓形状分析（球面、非球面、自由曲面）、台阶高度与薄膜厚度测量，以及波纹度与形状误差评估。配套专业分析软件提供直观的3D/2D可视化界面，支持自动报告生成、数据比对及SPC统计过程控制，符合ISO/GPS标准的数据输出。